MARS AP Batch-serien

CKD Technology har inte bara helt nya maskiner i lager, tillgängliga omedelbart.

Vi har också detaljerade uthyrningsverksamheter, redo att tillgodose dina specifika produktionsbehov samtidigt som du sänker din initiala investering avsevärt. Kontakta oss för mer information.

CKD har ett team av professionella ingenjörer, redo att leverera nyckelfärdiga tjänster.

För handel med begagnade maskiner, vänligen kontakta oss via Whatspp eller e-post.

------------------------------------------------------------------------------------

Översikt

AP-seriens plasmabehandlingssystem är lämpliga för ett brett spektrum av applikationer, inklusive plasmarengöring, ytaktivering och förbättring av vidhäftningen. Dessa system betjänar sektorer som halvledartillverkning, förpackning och montering av mikroelektronik samt produktion av medicinsk och biovetenskaplig utrustning. AP-serien består av fyra satsvis plasmabehandlingssystem, som erbjuder små, medelstora och stora vakuumkammarealternativ för att tillgodose kundernas behov, allt från FoU-miljöer till olika produktionsnivåer.

Funktioner och fördelar med plasmabehandlingssystem

● PLC-styrenhet med pekskärmsgränssnitt ger en intuitiv grafisk display och processövervakning i realtid

● Flexibel hylldesign möjliggör bearbetning av olika delbärare i antingen direkt eller nedströms plasmaläge

● 13,56 MHz RF-generator med automatisk impedansmatchning säkerställer oöverträffad processreproducerbarhet

● Proprietärt mjukvarukontrollsystem genererar process- och produktionsdata för statistisk processkontroll (SPC)

● Batch-liknande drift; varje enhet är helt fristående och kräver minimalt med golvyta

● Pump, kammare, styrelektronik och 13,56 MHz RF-generator är alla inrymda i ett enda hölje

Plasmabehandlingssystem modeller och konfigurationer

AP-600 & AP-300 Bänkplasmabehandlingssystem:AP-300 och AP-600 plasmabehandlingssystem är bänkenheter som är helt fristående och kräver minimalt med arbetsbänksutrymme. Systemchassit rymmer plasmakammaren, styrelektroniken, en 13,56 MHz RF-generator och ett automatiskt kammarmatchningsnätverk (endast vakuumpumpen är placerad externt). Tillgång till underhåll tillhandahålls via förreglade dörrar eller avtagbara paneler. Plasmakammaren stöder upp till sju flyttbara och justerbara drivna eller jordade hyllor för att rymma olika delar, sammansättningar och bärare, inklusive magasin, brickor och waferbåtar. Vakuumplasmabehandlingssystemet rymmer ett brett utbud av processgaser, inklusive argon, syre, väte, helium och fluorerade gaser. Båda modellerna levereras som standard med två (2) massflödesregulatorer för optimal gaskontroll, med två (2) ytterligare enheter tillgängliga som tillval (upp till fyra totalt). Bekväma verktygsanslutningar underlättar den periodiska kalibreringen som krävs under valideringsprocesser.

AP-1000 plasmabehandlingssystem:AP-1000-plattformen möjliggör full frontåtkomst, vilket underlättar drift och underhåll av alla interna komponenter. Pumpen är monterad på hjul för enkel borttagning. Plasmakammaren är konstruerad av 11-gauge rostfritt stål med aluminiumfixturer, vilket säkerställer exceptionell hållbarhet. Kammaren har flera avtagbara och justerbara hyllor för att rymma en mängd olika delbärare, inklusive magasin, brickor, wafers och waferbåtar. Utrustat med valfria HTP (High Throughput)-hyllor, kombinerar plasmabehandlingssystemet AP-1000 AP-1000-plattformens tillförlitlighet och processkvalitet med de bevisade fördelarna med Nordson MARCHs unika hylldesign. AP-1000 HTP optimerar användningen av reaktiva joner i RF-plasman, vilket förbättrar bearbetningslikformigheten samtidigt som cykeltiderna reduceras. AP-1000 HTP-systemet stöder en rad processgaser, såsom argon, väte och helium. Den levereras som standard med fyra gasmassflödesregulatorer för att säkerställa optimal gaskontroll. Slitsade magasin är placerade vertikalt i kammaren.

Dessutom kan slitsade magasin placeras vertikalt inuti kammaren. Vanligtvis rymmer varje magasin minst 20 blyramar. Plasmakammaren AP-1000 kan rymma upp till 12 magasin, beroende på magasinstorleken.