Klarar lätt ytbehandling av känsliga komponenter
- Kontaktförmåga argonplasma
- Genererar inga gnistor, ljusbågar, damm, UV-strålning eller överdriven värme
- Ingen risk för elektrostatisk urladdning (ESD) för känsliga elektroniska komponenter (t.ex. wafers, blyramar, halvledarförpackningsdelar)
| Grundläggande parametrar | Platform för MYS Plasma Ytbehandlingssystem |
| Strömkrav | 220 V, 2 kW, 10 A, 60 Hz |
| Gaskrav | 90 psi (6 bar) |
| Mått (B x D x H) | 1 200 x 770 x 1 400 mm |
| Vikt | 650 kg |
| Certifiering | CE |
| Positioneringsnoggrannhet | XY: ±30 um @ 3σ; Z: ±10 µm @ 3σ |
| X, Y, Z-axel repeterbarhet | XY: ±15 µm @ 3σ Z: ±5 µm @ 3σ |
| Maximal hastighet | 1 000 mm/s (X, Y) |
| Acceleration | 1,0 g |
| Kameraupplösning | 640 x 480 px (0,3 MP) |
| Drivsystem | AC servo |
| Transportör typ | Bälte |
| Transportörens lastkapacitet | 3 kg |
| Minsta produktbredd | 50 mm |
| Maximal produktbredd | 475 mm |
| Minsta produktlängd | 50 mm |
| Maximal produktlängd | 350 mm |
| Programvaruoperativsystem | Windows 7 |
| Produktens tjockleksområde | 0,5–6 mm |
| Kommunikationsprotokoll | SMEMA |
| Plasmabehandlingsområde (D x B) | 475 x 350 mm |
|
|
|
| Grundläggande specifikationer | Plasmasystemkrav |
| RF-ström | 600W vid 27,12 MHz |
| Primär plasmagas | Argon |
| Processgas | O2, N2 eller H2 (andra föremål för testning) |
| Gastillförseltryckintervall | 30–100 psig (0,2–0,7 MPa) |
Adress
5:e våningen, byggnad 2, nr 182, Chang'an Xi'an Road, Chang'an Town, Dongguan, Guangdong-provinsen, Kina.
Tel
E-post
